Produção de filme fino de liga Cu-Ni por codeposição usando Magnetron Sputtering Confocal

Alexandre Gerk, Alexandre Silva

Resumo


Um sistema confocal de deposição física (PVD) por magnetron sputtering (Confocal MS) foi desenvolvido no laboratório de superfícies e nanoestruturas (LabSurf) do CBPF. Como parte final do desenvolvimento, o sistema foi testado a fim de validar suas funcionalidades. O objetivo deste trabalho foi validar a funcionalidade de produção de filmes finos por codeposição. Como prova de conceito, foi utilizada a produção de filmes finos de liga de cobre e níquel com composição relativa controlada. O interesse nessa liga é a possibilidade de controlar sua magnetização através da porcentagem relativa de níquel, visando aplicação em estudo sobre hipertermia magnética. Foram estudadas as variações nos parâmetros do processo de deposição de filmes finos de cobre, níquel e da liga cobre-níquel. As taxas de deposição foram caracterizadas através da medida de espessura pela técnica de refletividade de raios-X (RRX), e a composição elementar da liga cobre-níquel foi caracterizada pela técnica de espectroscopia de dispersão de energia de raios-X (EDS). A caracterização da amostra final mostrou a presença de cobre e níquel com composição relativa próxima à esperada, validando a funcionalidade do sistema Confocal MS para produzir filmes finos, com composição relativa controlada, por codeposição.

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DOI: http://dx.doi.org/10.7437/nt-cbpf.v9i3.419